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真空调压阀与真空控制阀
独特的真空调压阀设计提高了准确度
与我们独特的背压调压阀技术一样，Equilibar® 真空调压阀 (EVR) 采用柔性膜片密封的多阀孔技术，取代了单个大阀座技术。Equilibar 气室负载真空调压阀以 1:1 的比例用先导压力控制真空压力。参考先导压力通过先导调压阀设定。当流量要求发生改变时，膜片移动几毫米来打开或关闭部分或全部阀孔，对系统内的真空压力提供即时无摩擦的控制。先导设定点压力可通过手动或用电子真空先导调压阀设定。
Equilibar EVR 为正向真空调压阀
EVR 通过调节真空供应泵和工艺之间的流量正向控制真空压力，从而将工艺真空压力精确控制到具体设定点。EVR 为非泄压调压阀，专门用于一直存在气体流量（哪怕是极小）的工艺。
如果您的工艺是气密性的，Equilibar 的应用工程师可以跟您讨论在工艺中提供小量排气的简单方法。
EVR 正向控制真空压力
Equilibar EVR 并非真空破坏阀
Equilibar 真空调压阀并非真空破坏阀，它只是让气体进入系统来控制压力。
注意：尽管 EVR 先导调压阀与真空破坏阀一样也会让空气进入，但与使用破坏阀控制整个系统的真空压力相比，前者进入的空气更少。
真空破坏阀让大气进入真空系统来控制真空压力
关键性能优势
稳定度显著提升
Equilibar EVR 可在不同供应压力下保持真空压力稳定。传统真空调压阀一般对真空供应压力很敏感，而 Equilibar 真空调压阀将上游压力与变化的供应压力有效隔绝。右图显示 1″（25 毫米）Equilibar® EVR 出色的流量稳定度。
轻松实现计算机自动化
Equilibar 真空调压阀可对真空供应或设定点压力的变化做出即时响应。EVR 与电动气动真空先导调压阀配合使用，可轻松实现计算机自动控制。
温度和化学兼容性
Equilibar 真空调压阀的阀体可选择 316SS、阳极氧化铝或 PVC 材料，O型圈和膜片可选择满足最苛刻真空环境需求的材料。某些设计可以耐受具有超纯和腐蚀性化学烟雾和气氛的工艺应用。还提供有耐高温性能的选项。
选择合适的尺寸
右图显示了按入口/出口接口尺寸列出的不同 EVR 阀体尺寸所预计的真空性能。如果流量未知，请选择与现有管道尺寸相匹配的 Equilibar EVR，或联系应用工程师协助选择正确尺寸。
| 型号 | 接口尺寸 | Cv | Kv |
| EVR-GSD2 | ¼ 英寸（公称直径 8 毫米） | 1.2 | 1.0 |
| EVR-GSD3 | 3/8 英寸（公称直径 10 毫米） | 1.8 | 1.6 |
| EVR-GSD4 | ½ 英寸（公称直径 15 毫米） | 3.2 | 2.8 |
| EV-GSD6 | ¾ 英寸（公称直径 20 毫米） | 5.5 | 4.8 |
| EVR-GSD8 | 1 英寸（公称直径 25 毫米） | 8.5 | 7.3 |
| EVR-BD12 | 1.5 英寸（公称直径 40 毫米） | 14.3 | 12.4 |
| EVR-BD16 | 2 英寸（公称直径 50 毫米） | 30.2 | 26.1 |
| EVR-BD24 | 3 英寸（公称直径 80 毫米） | 60 | 51.8 |
| EVR-BD32 | 4 英寸（公称直径 100 毫米） | 160 | 138.2 |
Equilibar EVR 视频
观看视频了解 EVR 的工作原理以及如何进行手动调节或电子控制。